徳岛大学ポストLEDフォトニクス研究所 加藤遼特任助教、矢野隆章教授、及び大阪大学大学院工学研究科 森山季(大学院生(当時))、馬越貴之講師、Prabhat Verma教授らの研究グループは、従来法に比べ12倍以上長い時間の測定が可能な超解像ラマンイメージング顕微鏡を開発しました。
超解像ラマン顕微镜(罢贰搁厂)は、分子の种类や状态を1分子レベルで同定できるため、様々な分野への応用が期待されています。しかしながら、従来の罢贰搁厂顕微镜は、顕微镜のドリフトの影响により测定时间が30分程度に制限されるため、観察可能な物质や测定范囲が限られていました。
今回、共同研究グループは、TERS顕微鏡のドリフトの影響をリアルタイムで補正する機構を新たに開発することで、従来法と比べて12倍以上長く安定した超解像ラマンイメージングを達成しました。この長時間超解像ラマンイメージングにより、電子デバイスへの応用が期待される新材料の二硫化タングステン(WS2)が有するナノメートルサイズの欠陥構造の同定や欠陥占有率の評価を、実際の電子デバイスと同規模の大面積(4,000,000 nm2以上)で実施することに世界で初めて成功しました。本手法は、トランジスタをはじめとする様々な電子デバイスに応用される材料の欠陥評価や、長い測定時間を要するためこれまで困難であったタンパク質などの生体分子の観察に応用できると期待されます。
なお、本研究成果は、 2022年 7 月 15 日 14時(米国東部标準時)に Science Advances 誌に掲載されました。

长时间超解像ラマンイメージングによる二硫化タングステンの大面积欠陥评価
ナノメートルサイズの欠陥构造の同定?评価を、电子デバイスと同规模の面积范囲で実施できるため、电子デバイスの性能に直结する
优位な物性情报を得ることができる
【报道発表】長時間?大面積の超解像ラマンイメージングの実現について (PDF 1.06MB)
