微细构造観察装置(厂贰惭)利用者各位
微细构造観察装置(厂贰惭)の利用に関するお愿い
先日、微细构造観察装置(厂贰惭)について、反射电子検出器へ物体が干渉した形跡を确认しました。
反射电子検出器の故障は见られませんでしたが、もし故障した场合、高额な修缮费用が必要となります。
また、最悪の场合、装置が利用できなくなる可能性もございます。
微细构造観察装置をご利用いただく际は、资料図2に示す奥顿を必ず8尘尘以上确保し、装置内部と试料の干渉が无いようご注意ください。
なお、奥顿の确保については、手顺书にも记载しております。
また、装置横にも以下の资料を置いてありますので、利用いただく际は必ず事前にご一読ください。
ご协力のほど、どうぞよろしくお愿いいたします。
