| 研究分野 | 材料?部品の分析评価 |
|---|---|
| 机器番号 | 6 |
| 设备名 | 顕微加工観测装置 |
| 规格 | 日本電子(株) JEM-9320FIB |
| 用途 | 微细领域の内部构造を観测するため、収束イオンビームにより微小领域のエッチング加工を行う装置である。 |
| 仕様?特徴 | ?加速电圧:最大30办痴 ?倍率:虫150?虫300,000 ?像分解能:6苍尘 ?最大ビーム电流:30苍础 |
| 设置场所 | 地域協働技術センター測定機器室 共4（産学官連携プラザ2階） |
| 连络先 | こちらの表をご确认ください。 ■新?機器设置场所、连络先一覧 |
最终更新日：2025年10月1日
