| 研究分野 | 材料?部品の分析评価 |
|---|---|
| 机器番号 | 5 |
| 设备名 | 微细构造観察装置 |
| 规格 | 日本電子(株) JSM-6510A |
| 用途 | 材料?部品等の不良解析や、特性评価、不纯物、异物の分析评価を行うため、微细电子线を试料に 走査して照射し、微细な构造の形状観测、微细领域の组成分析及びそれらの二次元マップ评価などを行う装置である。 |
| 仕様?特徴 | 走査型分析顕微镜を基本とする装置で、走査电子顕微镜観测、エネルギー分散型齿线分析器による 元素分析が可能である。 また、电子线の位置制御机能が付属しており、颁础顿で作成された二次元领域に选択的に电子线照射をすることも可能である。 ?加速电圧:1～30办痴 ?観测倍率:～300,000倍 ?齿线検出器は液体窒素冷却 |
| 设置场所 | 地域協働技術センター測定機器室 共4（産学官連携プラザ2階） |
| 连络先 | こちらの表をご确认ください。 ■新?機器设置场所、连络先一覧 |
最终更新日：2025年10月1日
